Заочные электронные конференции
Логин   Пароль  
Регистрация Забыли пароль?
 
     
Проектирование МЭМС реле СВЧ диапазона
Бичурин М.И., Семенов Г.А., Афиногенов И.А.


Для чтения PDF необходима программа Adobe Reader
GET ADOBE READER

М.И.Бичурин

Г.А.Семенов

И.А.Афиногенов

Тезисы

Проектирование МЭМС микрореле СВЧ диапазона

Микросистемная техника является в настоящее время одним из наиболее динамично развивающихся научно-технических направлений. В данной работе разработано микроминиатюрное реле СВЧ диапазона микроминиатюрное реле СВЧ диапазона.

На базе программного комплекса CST STUDIO в ходе проектирования конструкции СВЧ микрореле было проведено моделирование высокочастотных характеристик устройства.

Для экспериментальных измерений были спроектированы и изготовлены подключающие измерительные устройства, также разработанные с применением компьютерного моделирования.

В ходе работы построена модель, позволяющая производить расчеты с точностью 75-80%. Работы с моделью позволили расширить частотный диапазон СВЧ микрореле с 0 - 6 ГГц до 0 – 9 ГГц. Измеренные значния S- параметров микрореле соответствуют расчетным в пределах указанной точности.

Расчетные модели, позволяют скорректировать конструкцию микрореле до ее фактического изготовления, а также ответить на вопрос, о влиянии величины и характера отклонения геометрических размеров от заданных, в процессе изготовления структуры. Такие результаты могут быть использованы при мелкосерийном и серийном изготовлении СВЧ компонентов по технологии МЭМС.

Библиографическая ссылка

Бичурин М.И., Семенов Г.А., Афиногенов И.А. Проектирование МЭМС реле СВЧ диапазона // Компьютерное моделирование в науке и технике .
URL: http://econf.rae.ru/article/5371 (дата обращения: 23.05.2019).



Сертификат Получить сертификат

КОММЕНТАРИИ К ПУБЛИКАЦИИ – 0

Добавить комментарий

Ваше имя
Текст комментария
Антиспам проверка