Заочные электронные конференции
Логин   Пароль  
Регистрация Забыли пароль?
 
     
Моделирование актюатора для оптического реле гребенчатого типа
Бичурин М.И., Семенов Г.А., Конькин А.В.


Для чтения PDF необходима программа Adobe Reader
GET ADOBE READER

М.И.Бичурин

Г.А.Семенов

А.В.Конькин

МОДЕЛИРОВАНИЕ АКТЮАТОРА ДЛЯ ОПТИЧЕСКОГО МИКРОРЕЛЕ ГРЕБЕНЧАТОГО ТИПА

Интегральные микрозеркала с электростатической активацией находят широкое применение в миниатюрных робототехнических системах (в качестве оптических ключей) и системах анализа и обработки изображений (для отклонения лазерного луча или светового потока). Стремление учесть форму и условия работы конструкции, а также реальные особенности деформирования материала потребовало дальнейшего совершенствования численных методов. Метод конечных элементов, лежащий в основе программного комплекса ANSYS, наиболее удачно подходит для решения таких задач. В процессе исследования ставилась задача обеспечения хода гребенчатой структуры на 180 мкм.

Одной из трудностей аналитического расчета является учет анизотропных свойств материалов. При помощи моделирования в программе Ansys появилась возможность учесть анизотропные свойства кремния (Si). Для этого был проведен эксперимент по определению значения модуля Юнга при различных направлениях среза.

В ходе работы была решена задача по расчету кантилеверов сложной формы, имеющих конфигурацию отличную от прямоугольной гофры. Было рассмотрено несколько вариантов и принято решение по использованию скруглений на гофрах для увеличения значения хода гребенчатой части при номинальном значении напряжения.

В результате работы была спроектирована конструкция гребенчатого актюатора, обеспечивающая ход ш-образной части на величину 180 мкм при напряжении срабатывания 100 В. Расхождение результатов моделирования величин хода и напряжения срабатывания с расчетными данными составило не более 15 %.

Библиографическая ссылка

Бичурин М.И., Семенов Г.А., Конькин А.В. Моделирование актюатора для оптического реле гребенчатого типа // Компьютерное моделирование в науке и технике .
URL: http://econf.rae.ru/article/5372 (дата обращения: 22.08.2019).



Сертификат Получить сертификат

КОММЕНТАРИИ К ПУБЛИКАЦИИ – 0

Добавить комментарий

Ваше имя
Текст комментария
Антиспам проверка