Заочные электронные конференции
 
     
Главная / Научные конференции / Новые материалы и химические технологии /
Аморфный оксид ванадия – неорганический резист для нанолитографии
Величко А. А., Кулдин Н. А., Стефанович Г. Б. , Пергамент А. Л., Борисков П. П.


Прочитать публикацию в формате PDF
81 Кб
Для чтения PDF необходима программа Adobe Reader
GET ADOBE READER

Библиографическая ссылка

Величко А. А., Кулдин Н. А., Стефанович Г. Б. , Пергамент А. Л., Борисков П. П. Аморфный оксид ванадия – неорганический резист для нанолитографии // Новые материалы и химические технологии .
URL: http://econf.rae.ru/article/1893 (дата обращения: 19.04.2024).



Сертификат Получить сертификат

 © 2009 Российская Академия Естествознания
Служба технической поддержки - support@rae.ru