Величко А. А., Кулдин Н. А., Стефанович Г. Б. , Пергамент А. Л., Борисков П. П. Аморфный оксид ванадия – неорганический резист для нанолитографии // Новые материалы и химические технологии
.
URL: http://econf.rae.ru/article/1893 (дата обращения: 03.04.2025).