Заочные электронные конференции
 
     
Главная / Научные конференции / Нанотехнологии и микросистемы /
Изучение механизма реактивного ионно-плазменного травления фосфида индия
Жалнова Е.В.


Прочитать публикацию в формате PDF
46 Кб
Для чтения PDF необходима программа Adobe Reader
GET ADOBE READER

Библиографическая ссылка

Жалнова Е.В. Изучение механизма реактивного ионно-плазменного травления фосфида индия // Нанотехнологии и микросистемы .
URL: http://econf.rae.ru/article/3940 (дата обращения: 18.04.2024).



Сертификат Получить сертификат

 © 2009 Российская Академия Естествознания
Служба технической поддержки - support@rae.ru