Реактор периодического действия с подогревом подложки
Фёдоров П.С., Анохин И.А., Вилищук Э.А., Томсов С.Е., Подоляко М.В.
Для чтения PDF необходима программа Adobe Reader
|
|
Библиографическая ссылка
Фёдоров П.С., Анохин И.А., Вилищук Э.А., Томсов С.Е., Подоляко М.В. Реактор периодического действия с подогревом подложки // Нанотехнологии и микросистемы
.
URL: http://econf.rae.ru/article/5052 (дата обращения: 21.12.2024).
|