Применение МЭМС технологий для разработки СВЧ микрореле.
В работе проведено исследование и разработано микрореле на основе МЭМС технологий. Рассмотрен ряд конструкторско-технологических решений при создании радиочастотных компонентов.
В результате поиска инженерно-технических решений по созданию высокочастотного микрореле были отобраны основные конструкции таких изделий и проведен анализ механических свойств. Были смоделированы высокочастотные характеристики различных конструкций (передаточные характеристики, изоляция во СВЧ сигналу и т.д.). В ходе экспериментальных исследований разработано широкополосное микрореле СВЧ диапазона: диапазон коммутируемых частот – от 0 до 6 ГГц; напряжение срабатывания - 60В; затухание (контакты замкнуты) < 1 дБ; затухание (контакты разомкнуты) > 15дБ; КСВн < 2; масса
Библиографическая ссылка
Бичурин М.И., Семенов Г.А., Афиногенов И.А., Конькин А.В. Применение МЭМС технологий для разработки СВЧ микрореле // Нанотехнологии и микросистемы
.
URL: http://econf.rae.ru/article/5370 (дата обращения: 02.04.2025).
Прочитать публикацию в формате PDF