Заочные электронные конференции
 
     
Применение МЭМС технологий для разработки СВЧ микрореле
Бичурин М.И., Семенов Г.А., Афиногенов И.А., Конькин А.В.


Для чтения PDF необходима программа Adobe Reader
GET ADOBE READER

М.И.Бичурин

Г.А.Семенов

И.А.Афиногенов

А.В.Конькин

Тезисы

Применение МЭМС технологий для разработки СВЧ микрореле.

В работе проведено исследование и разработано микрореле на основе МЭМС технологий. Рассмотрен ряд конструкторско-технологических решений при создании радиочастотных компонентов.

В результате поиска инженерно-технических решений по созданию высокочастотного микрореле были отобраны основные конструкции таких изделий и проведен анализ механических свойств. Были смоделированы высокочастотные характеристики различных конструкций (передаточные характеристики, изоляция во СВЧ сигналу и т.д.). В ходе экспериментальных исследований разработано широкополосное микрореле СВЧ диапазона: диапазон коммутируемых частот – от 0 до 6 ГГц; напряжение срабатывания - 60В; затухание (контакты замкнуты) < 1 дБ; затухание (контакты разомкнуты) > 15дБ; КСВн < 2; масса

Библиографическая ссылка

Бичурин М.И., Семенов Г.А., Афиногенов И.А., Конькин А.В. Применение МЭМС технологий для разработки СВЧ микрореле // Нанотехнологии и микросистемы .
URL: http://econf.rae.ru/article/5370 (дата обращения: 18.10.2021).



Сертификат Получить сертификат