Моделирование и компьютерная обработка геометрических параметров элементов топологии ИМС на основе дифрактометрии в микро- и наноэлектроники

Заочные электронные конференции

Главная / Научные конференции / Нанотехнологии и микросистемы /

Истомина Н.Л., Спыну М.В.

Прочитать публикацию в формате PDF
73 Кб

Для чтения PDF необходима программа Adobe Reader

Библиографическая ссылка

Истомина Н.Л., Спыну М.В. Моделирование и компьютерная обработка геометрических параметров элементов топологии ИМС на основе дифрактометрии в микро- и наноэлектроники // Нанотехнологии и микросистемы .
URL: http://econf.rae.ru/article/602 (дата обращения: 13.01.2025).

Получить сертификат

Форма заказа сертификата