Заочные электронные конференции
Логин   Пароль  
Регистрация Забыли пароль?
 
     
Анализ подвижной части микропереключателя в Ansys
Бичурин М.И., Семенов Г.А, Конькин А.В.


Для чтения PDF необходима программа Adobe Reader
GET ADOBE READER

М.И.Бичурин

Г.А.Семенов

А.В.Конькин

АНАЛИЗ ПОДВИЖНОЙ ЧАСТИ МИКРОПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЯ В ANSYS

Микроэлектромеханические системы (МЭМС) – миниатюрные устройства, в которых электрические подсистемы интегрируются на микроуровне с механическими.

В работе проводилось моделирование механической части МЭМС структуры для определения оптимального варианта конструкции, удовлетворяющей требованиям по напряжению срабатывания и устойчивой к внешним механическим воздействиям. Объектом исследования выбрана конструкция СВЧ микропереключателя, выполненная по планарной технологии на основе микрополосковой линии на подложке из поликора (Al2O3), с использованием золота в качестве материала как исполнительного механизма, так и проводящего слоя.

В ходе работы исследуется попарное взаимодействие электростатической и механической силы друг на друга в процессе работы микропереключателя. Исследовано влияние изменения геометрии исполнительного механизма на силы электростатического взаимодействия. Определена величина минимального напряжения в 50 В, обеспечивающая стабильную работоспособность изделия.

Особое внимание уделяется моделированию воздействия одиночных ударов и вибрации на исполнительный механизм МЭМС устройства. Проведено исследование зависимости изменения резонансной частоты от геометрии исполнительного механизма. Сравнение расчетных результатов величины напряжения срабатывания и данных, полученных в ходе эксперимента, показывают расхождение не более 15 %, а результатами моделирования внешнего механического воздействия - не более 10 %. Приведены результаты по описанию полученных функциональных зависимостей для первой изгибной моды.

Моделирование позволило на начальном этапе получить результаты по испытаниям на предельные и разрушающие нагрузки, сыграв при этом важную роль в выборе оптимального варианта конструкции.

Библиографическая ссылка

Бичурин М.И., Семенов Г.А, Конькин А.В. Анализ подвижной части микропереключателя в Ansys // Компьютерное моделирование в науке и технике .
URL: http://econf.rae.ru/article/5373 (дата обращения: 23.07.2019).



Сертификат Получить сертификат

КОММЕНТАРИИ К ПУБЛИКАЦИИ – 0

Добавить комментарий

Ваше имя
Текст комментария
Антиспам проверка